應用鄰域：半導體和平板顯示器制造設施中的離子植入器、 干燥蝕刻機和 CVD 機器的冷卻。 測試設備該流體可用于冷卻半導體熱沖擊和測試設備。超級計算機和敏感軍事電子的直接接觸單相和雙相冷卻。